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江苏离子注入机用石墨部件

江苏离子注入机用石墨部件

  江苏离子注入机用石墨部件是一用于半导体器件加工制造的一种电极石墨,离子注入机用石墨部件可以用于有色金属连续铸造用结晶器以及化工机械密封压铸模等使用。

  

  加工离子注入机用石墨部件时,会用到离子注入的方式向半导体衬底中注入杂质元素,常见的注入部件有,铝材用塞棒、底碗底座、浇注管、流槽护套、江苏石墨环、滚筒、条板。离子注入机用石墨部件、金刚石制品模具、锯片模具、钻头模具、滚筒模具、磨边轮、坩埚及各种异形模具。

  

  离子注入机用石墨部件机械所用的石墨部件材料需要具备耐热性以及导热性能,所以在离子注入装置中,在离子行经过程中需要用到大量的石墨来改变离子的方向和形状,例如,轨道管壁、以及设置于所述轨道管壁内部的离子源控制电极和离子源终止器等都需要使用江苏石墨材料,业界也将这些使用石墨材料的部件称为石墨部件。

  

  特别是大电流的离子注入机中,实际加工生产离子注入机用石墨部件都是连续大于三天的,所以石墨会产生击穿导致各种问题的不足,所以需要高纯度的石墨为材料,含碳量要大于95%。

来源:http://jiangsu.smzpgs.com/product185772.html
发布时间:2019/5/11 18:02:17

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